如果说航空发动机，代表了人类科技领域发展的顶级水平，那么光刻机就是半导体工业界最为耀眼的明珠。
作为光刻工艺的核心设备，也是所有半导体制造设备中技术含量最高的设备，光刻机涉及到精密光学、精密运动、高精度环境控制等多项先进技术。
就在去年。
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