3种不同树脂,每种树脂的鉴定和选择都非常困难,这方面的供应商是日本的信越化学和JSR株式会社,还有美国的杜邦公司。”
“光引发剂的占比较小,但对光刻胶的感光特性很重要,它的类型和用量都要进行精确匹配,这方面的供应商是德国的巴斯夫和默克公司、荷兰的IGM Resins。”
“新阳庐州的研发仍旧在使用德国巴斯夫的光引发剂,但已经无法采购日本和美国厂商的材料,这部分也是依靠自主研发。”
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