物理打磨,这一步硅片厚度会再打薄5微米左右,直到被抛光成完美的镜面,这样就得到了一枚抛光片。
这一步最复杂,陈地忠虽然找到了化学机械抛光机,但是还要调配适合的抛光液,抛光液中包括研磨料、PH值调配剂、氧化剂、分散剂和表面活性剂,这就把陈地忠难住了,只能草草了事。
第9步:湿法清洗。
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