的极紫外光传播进入了蜂巢式立体镜片组内部,经过无数个镜头折射、反射等一系列的控制之后,最后才真正得到曝光所需的光源。
嗯,这只是极紫外光刻机研发万里长征第一步,接下来的步骤如果用接地气的说法也就是不那么专业的话语来描述的话就是:
极紫外光照射在设计出来的集成电路图上,然后把电路图给缩小到一个天文数字的倍数之下再塞到面积差不多只有指甲盖大小的晶圆上。
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