，以钕玻璃激光器为基础，钕玻璃固体激光的3倍频作点火光源，它能释放351纳米波长的激光光束，脉冲能量45千焦，脉宽2.5纳秒。
可惜耗材很大，国内也有这方面的研究。
第二，以氟化氪准分子激光为基础，它释放出的波长更短，仅有248纳米，而且效率较高，耗材很低。
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