激光发生器、能量控制器、光速控制器、光镜器、掩膜台、曝光台、测量器、减震装置......
‘毫米级’的光刻机的八大核心零部件韩元已经全部制造出来了。
花费了一些时间将剩下的一些零配件弄出来并组装起来后,这些零部件变成了一个集装箱一样的长方形货柜。
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