m的干式光刻技术路径上，佳能、尼康都在往这方面尝试。”
“另外，还有一项新的理论挺有意思，一位华裔越南科学家叫做林宝坚，他提出用水作为曝光介质，光源波长还是用原来的193nm，但通过水的折射，让进入光阻的波长缩小到134nm，起名叫做浸没式，我在杂志上看见过。”
“点子蛮有意思，只是一旦往这方面尝试，意味着要把以前的技术路线推翻，代价实在太大……”
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