半导体所，开始研制更加先进的“半自动接近式光刻机”，并在同年成功研制出两台样机。
1982年，科学院109厂研制出了kha751光刻机，这款光刻机，保守估计跟彼时泥轰国的光刻机巨头相比，最多也就落后不到四年。
1985年，机电部45所研制的分步光刻机，达到了漂亮国4800ds光刻机的水准，而这台光刻机，漂亮国诞生也不过七年。
验证码验证正确才能显示加密内容！
1次验证码通过可以阅读10页面
如果您是使用浏览器的阅读（转码）模式请退出阅读（转码）模式才能通过验证码验证！
使用验证码验证主要是防止机器人爬取及浏览器转码为您的阅读带来不便敬请谅解！