这个...”郑明锐尴尬一笑道：“这还只是初步的设计，密度与精度根本无法掌控住，所能达到的蚀刻效果非常的差！还不能用作光刻机的研发。”
孙阔摇头道：“若是以惰性气体加入其中呢？效果是否会不一样？”
“孙教授，您说的惰性气体，我和我的团队很早就已经尝试过了，没用！”郑明锐说道：“精度，密度是能达标，可能量提供不够，没能达到蚀刻效果的最低标准。”
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