另外生产芯片的机器主要有光刻机,等离子刻蚀刻机,离子注入机,单晶炉,晶圆划片机,晶片减薄机,氧化炉,低压化学气沉淀积系统,磁控溅射台,化学机械研磨机,引线键合机,以及探针测试台等等。
这些设备都是当前国际芯片产业最先进的设备,而最为后世人所熟知的芯片生产设备,就当属光刻机了。
光刻机也叫做激光雕刻机,是一种专门用来制造微小电子元件的设备,至于这个“微小”要微小到什么程度呢?就拿当今世界上最流行的芯片工艺来说,7nm工艺大概要求大概是人类头发丝的万分之一,可以想象这其中的技术有多难了。
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